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J-GLOBAL ID：200903056223250832

熱処理装置

Inventor： 大加瀬 亘
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン東北株式会社
Agent (1)： 井上 一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992130193
Publication number (International publication number)：1993299370
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 縦型熱処理炉内に被処理体を搬入直後直ちに、チューブ下端開口を閉鎖できる熱処理装置を提供すること。【構成】 上方に面状発熱源18を配置してなる縦型熱処理炉12の上端には、ガス導入部60が連通して設けられ、このガス導入部60に沿って昇降可能な吊下げ軸38が配置され、その先端にウエハ28の支持部42が固着される。縦型熱処理炉12の下端開口12aを密閉する蓋118は、蓋駆動部110より昇降される。

Claim (excerpt)：

縦型熱処理炉内にて被処理体を熱処理する熱処理装置において、前記縦型熱処理炉の上端と連通して鉛直上方に伸びる案内管と、この案内管に沿って昇降する軸部及びこの軸部の下端に設けられた被処理体支持部から成り、前記軸部の昇降により前記被処理体を前記縦型熱処理装置内に設定し、かつ、前記縦型熱処理炉の下端開口より前記被処理体を搬入出する被処理体駆動部と、前記被処理体が前記縦型熱処理炉内に搬入された後に前記下端開口を気密に密閉する蓋部材と、を有することを特徴とする熱処理装置。

IPC (4)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324