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J-GLOBAL ID：200903056249882560
プロセス量測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991170262
Publication number (International publication number)：1993020589
Application date： Jul. 11, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】複数種類の各検出部に対し、2種類の演算部を選択的に接続することによって、光出力形,アナログ出力形のいずれにもなし得るプロセス量測定装置を提供する。【構成】複数種類の各検出部に対し、各検出部の出力を補正した後に光信号に変換し上位システムと交信する演算部、または検出部の出力を補正した後に電気信号で上位システムと交信する演算部が選択的に接続可能な装置であって、各検出部は補正データ用メモリを、各演算部は設定データ用メモリを備え、各演算部によって、補正メモリに基づき検出量が補正されると共に、上位システムからの設定指令と各設定メモリに基づき設定がなされる。
Claim (excerpt)：
プロセス量に係る複数種類の各検出部に対し、この各検出部の出力を補正して上位システムに伝送するとともに、この上位システムから設定指令を受けて前記各検出部に対する設定をおこなう共通な演算部が選択的に接続可能な装置であって、前記各検出部は、検出に係る補正データを格納する補正メモリを備え、前記演算部は、検出に係る設定データを格納する設定メモリを備え、前記演算部によって、前記補正メモリの補正データに基づき、前記各検出部による検出プロセス量が補正されるとともに、前記設定指令と前記設定メモリの設定データとに基づき、前記各検出部に対して検出に係る設定がなされる構成であることを特徴とするプロセス量測定装置。
IPC (2)：
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