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J-GLOBAL ID：200903056253367050

膜生成装置用の生成膜付着防止部材

Inventor： 森下 昌彦
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991337420
Publication number (International publication number)：1993175126
Application date： Dec. 20, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】付着する金属微粒子の除去時にも金属製の生成膜付着防止部材が溶けないようにし、再利用に関する手間を最小限に抑制するとともに、半永久的に再利用できるようにすること。【構成】第1,第2の生成膜付着防止部材3,4の全表面に耐酸性の保護膜5をコーティングしている。保護膜5は、第1,第2の生成膜付着防止部材3,4の粗い面状態にならって面状態が粗くなるから、膜生成時に金属微粒子が保護膜5に付着しやすくなる。また、付着した金属微粒子を除去するときは、酸系の溶剤を用いても第1,第2の生成膜付着防止部材3,4が耐酸性の保護膜5で保護されているから、第1,第2の生成膜付着防止部材3,4が溶けずに済む。これにより、生成膜付着防止部材3,4の再利用が簡単に行えるようになる。

Claim (excerpt)：

半導体基板への膜生成装置に用いられるもので、前記膜生成装置の膜生成室内の備品に対して金属ターゲットから分離する金属微粒子を付着させないようにする生成膜付着防止部材であって、少なくとも金属ターゲットに対向する面が粗く形成されているとともに、この面に耐酸性の保護膜がコーティングされている、ことを特徴とする膜生成装置用の生成膜付着防止部材。

IPC (3)：

H01L 21/203 ,  C23C 14/22 ,  C23F 4/00