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J-GLOBAL ID：200903056271716347

インクジェットヘッドおよびその製造方法

Inventor： 西脇 学
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995056336
Publication number (International publication number)：1996252914
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 圧電膜前駆体の加熱焼成前に、この圧電膜前駆体直下の基体材料をあらかじめ取り除くのことで、加熱時の圧電膜前駆体中の鉛が拡散し基材料との反応による膜不良を防ぐ。【構成】 列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室2を有する加圧室基板1、該加圧室基板の片面に覆蓋し、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜4と下部駆動電極膜5と圧電膜の積層体24、各々の加圧室の壁面に設けられたインク吐出ノズル7とインク供給孔からなるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記加圧室基板の前駆体に前記弾性膜と下部駆動電極膜と圧電膜の前駆体を積層成膜し、該積層体を所定の形状に食刻した後、加圧室基板を積層体成膜面の対面より食刻し加圧室を形成し、上記圧電膜付加圧室基板を加熱焼成して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

Claim (excerpt)：

列状に隔壁を介して配列されたインク加圧室を有する単結晶シリコンからなる加圧室基板、該加圧室基板の片面に覆蓋し、加圧室の一壁面をなすがごとく配置された弾性膜と下部駆動電極膜と圧電膜の積層体、各々の加圧室の壁面に設けられたインク吐出ノズルとインク供給孔からなるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記加圧室基板の前駆体に前記弾性膜と下部駆動電極膜と圧電膜の前駆体を積層成膜し、該積層体を所定の形状に食刻した後、加圧室基板を積層体成膜面の対面より食刻し加圧室を形成し、上記圧電膜付加圧室基板を加熱焼成して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H