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J-GLOBAL ID：200903056284040490
縮小投影レンズ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993271675
Publication number (International publication number)：1995128590
Application date： Oct. 29, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：
【要約】【目的】 色収差の補正が可能であり、かつ、レンズ系の硝材総肉厚を薄くして透過率を向上させることができる高解像の縮小投影レンズ。【構成】 ArFエキシマレーザ、KrFエキシマレーザ等の300nm以下の中心波長を有し、波長スペクトル半値幅が±0.5pm〜±200pmのスペクトル光源を対象とした屈折光学素子と回折光学素子を含む縮小投影レンズであって、屈折光学素子は少なくとも1面の非球面を含み、屈折光学素子及び回折光学素子がSiO<SB>2 </SB>等の全ての同一の硝材よりなり、レンズ系の瞳から回折光学素子までの距離をd、物像間距離をD、回折光学素子における最軸外主光線高をh、回折光学素子の有効半径をHとしたとき、0.02<|d/D|<0.17,0.01<|h/H|<0.25の条件を満足する。
Claim (excerpt)：
300nm以下に中心波長を有するスペクトル光源を対象とした屈折光学素子と回折光学素子を含む縮小投影レンズであって、屈折光学素子は少なくとも1面の非球面を含むことを特徴とする縮小投影レンズ。
IPC (4)：
G02B 13/18
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 527
