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J-GLOBAL ID：200903056311760190
空間的光変調装置におけるミラー装置、その駆動方法およびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
前田 弘 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995270932
Publication number (International publication number)：1997113826
Application date： Oct. 19, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 空間的光変調装置におけるミラー装置の製造プロセスを低減して基板上にすでに形成されているアドレス回路の歩留まりを向上させると共に、ミラー装置の構造を簡単にすることによりミラー装置の歩留まりを向上させる。【解決手段】 ビームを反射する反射面を有するビーム反射板10は基板11に対して平行に且つ間隔をおいて形成されている。弾性変形可能な支持脚体18は、基板11から垂直方向に延びており、支持脚体18の一端は基板11に固定されていると共に他端はビーム反射板10と一体に形成されている。アドレス電極19は基板11上に形成されており、該アドレス電極19にビーム反射板10との間に引力又は斥力を発生させる電圧が印加されると、支持脚体18が湾曲状に弾性変形してビーム反射板10は基板11に対して傾動する。
Claim (excerpt)：
基板に対して平行に且つ間隔をおいて形成されており、ビームを反射する反射面を有するビーム反射板と、前記基板から垂直方向に延びており、一端が前記基板に固定されていると共に他端が前記ビーム反射板と一体に形成された弾性変形可能な支持脚体と、前記基板上に形成されており、前記ビーム反射板との間に引力又は斥力を発生させる電圧が印加される電極とを備えていることを特徴とする空間的光変調装置におけるミラー装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
