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J-GLOBAL ID：200903056315348901

反射係数測定装置

Inventor： 山田 和人 ,  齋藤 道明 ,  庵原 賢二郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995129912
Publication number (International publication number)：1996338759
Application date： May. 29, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 目標物によって反射される反射光量と、目標物までの距離を同時に計測し、リアルタイムで反射係数を求めることのできる反射係数測定装置を提供することにある。【構成】 レーザ光を出射する光源と、前記光源から出射されたレーザ光を透過させ、かつ目標物によって反射された前記レーザ光を反射させることができる光路分割手段と、光を集める対物レンズと、目標物によって反射された前記レーザ光を受光する受光素子と、該受光素子によって受光された前記反射されたレーザ光の光量を測定する光量測定手段と、前記レーザ光が前記レーザ光源を出射してから前記受光素子に入射するまでの時間を計測する計測手段と、該計測された時間を用いて前記目標物までの距離を演算する演算手段とを備え、目標物の反射係数を測定する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を出射する光源と、前記光源から出射されたレーザ光を透過させ、かつ目標物によって反射された前記レーザ光を反射させることができる光路分割手段と、光を集める対物レンズと、目標物によって反射された前記レーザ光を受光する受光素子と、該受光素子によって受光された前記反射されたレーザ光の光量を測定する光量測定手段と、前記レーザ光が前記レーザ光源を出射してから前記受光素子に入射するまでの時間を計測する計測手段と、該計測された時間を用いて前記目標物までの距離を演算する演算手段と、を備えたことを特徴とする反射係数測定装置。

IPC (3)：

G01J 1/00 ,  G01B 11/00 ,  G01S 17/08

FI (3)：

G01J 1/00 H ,  G01B 11/00 B ,  G01S 17/08