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J-GLOBAL ID：200903056338440813

感光性樹脂組成物

Inventor： 對比地 武志 ,  山崎 倫康
Applicant, Patent owner： 群栄化学工業株式会社
Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002257936
Publication number (International publication number)：2004094118
Application date： Sep. 03, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：

【課題】高感度で現像時及びキュア後において高残膜率のパターンを得られ、同時に微細パターンの解像性及びパターン形状に優れ、さらには、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜用途として要求される耐熱性と力学的性能をも高レベルで満足する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)特定のフェノール性ヒドロキシ基を含有する繰り返し単位と非フェノール性の繰り返し単位とを有するポリイミド樹脂と、(B)キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(I)

IPC (4)：

G03F7/037 ,  C08G73/10 ,  G03F7/022 ,  H01L21/027

FI (4)：

G03F7/037 501 ,  C08G73/10 ,  G03F7/022 ,  H01L21/30 502R

F-Term (30)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J043PA04 ,  4J043PA09 ,  4J043PC06 ,  4J043QB31 ,  4J043RA33 ,  4J043RA34 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SB02 ,  4J043TA14 ,  4J043TB01 ,  4J043UA11 ,  4J043UA14 ,  4J043UA15 ,  4J043UA16 ,  4J043UA17 ,  4J043UA18 ,  4J043WA05 ,  4J043WA11 ,  4J043ZA51 ,  4J043ZB22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平3-273029
  
• 特開平3-281535
  
• ポジ型感光性樹脂前駆体組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-263189   Applicant：東レ株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-252685   Applicant：東レ株式会社
• ポジ型感光性樹脂前駆体組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-247467   Applicant：東レ株式会社