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J-GLOBAL ID：200903056353407580

カンチレバーおよびこのカンチレバーを用いた微細加工装置

Inventor： 畑村 洋太郎 ,  黒田 浩史
Applicant, Patent owner： 畑村 洋太郎 ,  日立建機株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993101393
Publication number (International publication number)：1994307851
Application date： Apr. 27, 1993
Publication date： Nov. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料とチップ間に作用力が生じても、試料に対しチップ角を所定角度に保持できるカンチレバーおよびそのカンチレバーを用いた微細加工装置の提供。【構成】 ベース平板8aと一体的に設けられる上側レバー2と、ベース平板8bと一体的に設けられ中央部近傍に空洞部12を有する下側レバー1と、これら2個のレバーを平行に設置することにより形成されるレバー本体14と、このレバー本体14の先端部近傍に支柱4を介して支持される尖鋭なチップ3とから構成され、試料とチップ3との間に作用力が生じた場合、下側レバー1の空洞部12a,12b部を支点として両レバー1,2がそれぞれ平行に2箇所で同一量だけ撓み、これにより試料とチップ間に作用力が生じても、試料に対するチップの角度を所定角に保つことができる。この角度保持機能を利用し、チップ3により試料に対する加工を行うこともできる。

Claim (excerpt)：

レバー本体と、このレバー本体の先端近傍に設けられたチップとを備え、前記チップが試料に接近したときに両者の間に生じる作用力によって変位するカンチレバーにおいて、前記レバー本体は平行に設けられた複数枚の平板からなる平行平板構造であることを特徴とするカンチレバー。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28