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J-GLOBAL ID:200903056383592217

物体形状測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 角田 仁之助
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991349426
Publication number (International publication number):1993157525
Application date: Dec. 09, 1991
Publication date: Jun. 22, 1993
Summary:
【要約】【目的】 アーク光等の周囲光の影響を除去しうる物体形状の測定、通常の半導体レーザと電荷蓄積形CCDライセンサにより構成【構成】 レーザ光を物体表面1に投射しその輝点像を電荷蓄積形一次元受光素子列7により検出して該輝点像の位置座標を求める装置において、一次元受光素子列7の受光及び読み出し走査に同期してレーザ光を投射する走査期間と投射しない走査期間を交互に生成するためのパルス光投射手段と、受光素子列7の読みだし出力を1読み出し走査周期だけ遅延させる回路手段と、パルス光投射により生ずる輝点像の読みだし出力とパルス光投射のない期間の蓄積電荷の読みだし出力との間でどちらか一方を上記遅延回路の出力から得ることによって減算処理を行う回路手段と、該減算処理出力の加算処理手段とを有する物体形状測定装置
Claim (excerpt):
レーザ光を物体表面に投射し、その輝点像を電荷蓄積形一次元受光素子列により検出して、三角測量の原理に基ずき輝点像の位置座標を求め、物体の表面形状を測定する物体形状測定装置において、一次元受光素子列の受光及び読みだし走査に同期してレーザ光を投射する走査期間と投射しない走査期間を交互に生成するためのパルス光投射手段と、受光素子列の読みだし出力を1読み出し走査周期だけ遅延させる回路手段と、パルス光投射により生ずる輝点像の読みだし出力とパルス光投射のない期間の蓄積電荷の読みだし出力との間で、どちらか一方を上記遅延回路の出力から得ることによって、減算処理を行う回路手段と、該減算処理出力を複数回加算する加算処理手段を有し、読みだし出力中の輝点像以外の外来妨害成分に対し、減算処理により主としてその低周波成分を、加算処理により主としてその高周波成分を除去することを特徴とする物体形状測定装置
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
  • 特開昭59-159006
  • 特開昭60-200103
  • 特開昭58-122414
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