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J-GLOBAL ID：200903056401080911
ダイヤモンド状カーボン膜の形成方法及びその装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
宇高 克己
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995004974
Publication number (International publication number)：1996193270
Application date： Jan. 17, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】 ダイヤモンド構造に富むダイヤモンド状カーボン膜を得ることが出来る技術を提供することである。【構成】 支持体上にDCマグネトロンスパッタ法によりカーボンを付けた後、その上にECRマイクロ波プラズマCVD法によりカーボン膜を形成するダイヤモンド状カーボン膜の形成方法。
Claim (excerpt)：
支持体上にDCマグネトロンスパッタ法によりカーボンを付けた後、その上にECRマイクロ波プラズマCVD法によりカーボン膜を形成することを特徴とするダイヤモンド状カーボン膜の形成方法。
IPC (4)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, C30B 29/04
, G11B 5/84
