Pat
J-GLOBAL ID:200903056423896508

表面欠陥検査装置によるワーク位置ずれ補正方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 千葉 剛宏 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994166652
Publication number (International publication number):1996029359
Application date: Jul. 19, 1994
Publication date: Feb. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】ワークの位置ずれ量を極めて簡易且つ高精度に検出し、補正することを目的とする。【構成】ボディー12の表面の中、照明光を照射した際にコントラストが大となる同一直線上にない3個所を含む計5個所の基準部位P0〜P4の位置データを2次元センサを用いて求め、ティーチング時の前記基準部位P0〜P2の位置データを前記2次元センサにより求めた位置データとするようにティーチングデータを補正する。
Claim (excerpt):
ティーチングデータに基づいてワークの表面を走査するとともに、照明光を前記ワークに照射し、その反射光を2次元センサで受光して画像処理することにより、前記ワークの表面欠陥を検査する表面欠陥検査装置によるワーク位置ずれ補正方法において、前記ワークの表面の中、前記照明光を照射した際にコントラストが大となる同一直線上にない少なくとも3個所を基準部位として設定し、前記ワークが正確な位置に設定されているときの前記各基準部位の位置データを含むティーチングデータを求める第1ステップと、所望のワークに対する前記表面欠陥の検査に先立ち、前記2次元センサを前記各基準部位に対応する前記ティーチングデータに従って変位させ、得られた画像情報から前記各基準部位の位置データを求める第2ステップと、前記第1ステップで求めた前記各基準部位の位置データと、前記第2ステップで求めた前記各基準部位の位置データとから前記ワークの位置ずれ量を求める第3ステップと、前記位置ずれ量に基づき前記ティーチングデータを補正する第4ステップと、からなることを特徴とする表面欠陥検査装置によるワーク位置ずれ補正方法。
IPC (5):
G01N 21/88 ,  B25J 9/10 ,  B25J 13/08 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00

Return to Previous Page