Pat
J-GLOBAL ID：200903056431723337
偏光板付き表面欠陥検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
遠山 勉 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997092163
Publication number (International publication number)：1998282014
Application date： Apr. 10, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 樹脂や金属等の検査対象物を必要以上に拡大しないで検査対象物に生じた微少の欠陥を正確に検出するとともに、これらの検査対象物の表面色が黒色または暗色の場合でも欠陥の見逃しがない表面欠陥検出装置を提供する【解決手段】 検査対象物3から反射した光情報を受光部5で受けて、この光情報を電気信号に変換して比較判定装置6へと出力する。そして、電気信号を入力した比較判定装置6は、あらかじめ設定した目標値と比較し、比較結果に基づいて検査対象物3の欠陥の有無を判定する。ここで、光センサを形成する投光部1の光の照射側に第1の偏光板2を装着し、この第1の偏光板2に対して所定の偏光角を有する第2の偏光板4を受光部5の集光側に装着する。
Claim (excerpt)：
検査対象物に投光部から光を照射し前記検査対象物から反射した光情報を受光部にて受光し前記光情報を電気信号に変換して出力する光検出装置と、この光検出装置に接続され、前記光検出装置からの電気信号をあらかじめ設定した目標値と比較しこの比較結果に基づいて前記検査対象物の欠陥の有無を判定する比較判定装置とを備えた表面欠陥検出装置において、前記投光部の光の照射側に第1の偏光板を装着するとともに、前記第1の偏光板に対して所定の偏光角を有するように前記受光部の集光側に第2の偏光板を装着したことを特徴とする偏光板付き表面欠陥検出装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 Z
, G01N 21/21 Z
