Pat
J-GLOBAL ID：200903056448233635

ネガ型感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性樹脂版

Inventor：
高梨 博

About 高梨 博

, 
工藤 知哉

About 工藤 知哉


Applicant, Patent owner：
東京応化工業株式会社

About 東京応化工業株式会社


Agent (1)： 長谷川 洋子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998071513
Publication number (International publication number)：1999249291
Application date： Mar. 05, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 特にハイライト部および独立細線の再現性に優れるとともに、白抜き深度の深い解像性の良好なネガ型感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性樹脂版を提供する。【解決手段】 (A)被膜形成用ポリマー、(B)ラジカル重合可能なエチレン性二重結合を有する不飽和化合物、(C)光重合開始剤、および(D)熱重合禁止剤を含むネガ型感光性樹脂組成物に、さらに(E)樹脂の3次元網目構造を崩すような、特定の極性基を1個有する化合物を、感光性樹脂組成物に対して0.001〜0.3重量%の範囲で含有してなるネガ型感光性樹脂組成物、および該感光性樹脂組成物を用いた感光性樹脂版。
Claim (excerpt)：
(A)被膜形成用ポリマー、(B)ラジカル重合可能なエチレン性二重結合を有する不飽和化合物、(C)光重合開始剤、および(D)熱重合禁止剤を含むネガ型感光性樹脂組成物において、さらに(E)下記一般式(I)【化1】R1-X (I)〔式中、-Xは、-OR2、-COOH、-SO3H、-CONHR2、-COR2、-SO2NHR2、-HNCONHR2、または-HNCOOR2を表し;R1、R2は、同一であっても異なってもよく、水素原子、置換若しくは未置換の飽和または不飽和炭化水素基(ただし、ラジカル重合可能なエチレン性二重結合は含まない)、置換若しくは未置換の脂環式炭化水素基、置換若しくは未置換の芳香族炭化水素基、または複素環基を表し、これらは鎖中にエーテル結合を有していてもよい。ただし、-Xが-OHの場合、R1は水素原子および芳香族炭化水素基以外の基を表す〕で表される化合物の中から選ばれる少なくとも1種を、感光性樹脂組成物に対して0.001〜0.3重量%の範囲で含有することを特徴とする、ネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (2)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027
FI (2)：
G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM