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J-GLOBAL ID：200903056454225903

ペレツト取り出し装置

Inventor： 大久保 圭一郎
Applicant, Patent owner： 関西日本電気株式会社
Agent (1)： 江原 省吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991191639
Publication number (International publication number)：1993036817
Application date： Jul. 31, 1991
Publication date： Feb. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 粘着シート上に貼着した半導体ペレットを粘着シートを破損することなく容易に取り出すペレット取り出し装置を提供する。【構成】 粘着材13を所定幅と間隔でストライプ状に整列・塗布した粘着シート11上に半導体ウェーハを貼着して個々のペレット1に細分割し、粘着シート面に対し植立姿勢で上下動し、且つ、先端部幅方向を粘着材13のストライプ方向に直角に配した板状突き上げピン12を、粘着シート13の下方より突き上げて半導体ペレット1を粘着シート11から剥離する。

Claim (excerpt)：

整列状態で多数のペレットを貼り付けた粘着シートの下方にブレード状の突き上げ部材を上下動自在に配置したことを特徴とするペレット取り出し装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/52