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J-GLOBAL ID：200903056477623949

光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法

Inventor： 広瀬 智財 ,  小山 健二
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 上代 哲司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000368541
Publication number (International publication number)：2002169044
Application date： Dec. 04, 2000
Publication date： Jun. 14, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 石英ガラスウエハ基板21上に形成された光回路22をダイシングソーで切り出す際に、生じたチッピングで光回路が破壊されること、また、このチッピングが光導波路デバイスを使用している間に成長し光回路が破損することを防ぐ。【解決手段】 石英ガラスウエハ基板21上にコア12とオーバークラッド13からなる光回路22が複数形成された光回路ウエハのオーバークラッド13上に薄膜を形成し、光導波路デバイスの薄膜側を凸とする。

Claim (excerpt)：

石英ガラス基板上に、コアとオーバークラッドを有する光導波路デバイスにおいて、前記光導波路デバイスは、前記オーバークラッド上にさらに薄膜を有し前記薄膜側が凸になるようそっていることを特徴とする光導波路デバイス。

IPC (2)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/13

FI (2)：

G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

F-Term (5)：

2H047KA04 ,  2H047PA01 ,  2H047PA24 ,  2H047QA07 ,  2H047TA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光導波路基板の製造方法および光導波路基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-015993   Applicant：住友電気工業株式会社
• ガラス導波路素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-063392   Applicant：日立電線株式会社