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J-GLOBAL ID：200903056485211803

露光装置用恒温チヤンバ

Inventor： 冨永 学 ,  田中 裕之
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991285278
Publication number (International publication number)：1993129175
Application date： Oct. 31, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 露光装置用恒温チャンバに関し,ウエハの出し入れに伴う熱的擾乱を低減して温度制御精度を向上し,装置性能の低下を抑制することを目的とする。【構成】 1)露光装置を入れ,且つチャンバの壁11に設けられたウエハ搬入出用の開口部12に, 該開口部の左辺, 右辺, 上辺,下辺の4方向の内少なくとも1方向より該開口部を閉じるように移動可能なブレードを設けてなる,2)チャンバの開口部12に,該開口部を開閉するシャッタを有する,3)チャンバの開口部12に,搬送されるウエハを外気から一時遮断するロードロック室14を有する,4)チャンバの開口部12の近傍に温度制御された空気を強制的に吹きつける強制空調装置18を有するように構成する。

Claim (excerpt)：

露光装置を入れ,且つチャンバの壁11に設けられたウエハ搬入出用の開口部12に, 該開口部の左辺, 右辺, 上辺,下辺の4方向の内少なくとも1方向より該開口部を閉じるように移動可能なブレードを設けてなることを特徴とする露光装置用恒温チャンバ。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521