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J-GLOBAL ID：200903056487693775
ウエハブレーキング装置及びウエハブレーキング方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996317732
Publication number (International publication number)：1998163134
Application date： Nov. 28, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】 実際のウエハブレーキング動作に先立って、スクライブ作業等の付帯作業を必要としていた。また、ウエハブレーキング時にチップ同士の干渉が発生していた。【解決手段】 結晶質のウエハ5を複数の個片チップに分割するウエハブレーキング装置において、ウエハ5との突き当て部分4を鋭角に形成してなるブレーキングカッター2と、このブレーキングカッター2を支持しかつブレーキングカッター2を所定の方向に超音波振動させる超音波ホーン1とを備える。
Claim (excerpt)：
結晶質のウエハを複数の個片チップに分割するウエハブレーキング装置において、前記ウエハとの突き当て部分を鋭角に形成してなるブレーキングカッターと、前記ブレーキングカッターを支持するとともに、該ブレーキングカッターを所定の方向に超音波振動させる超音波ホーンとを備えたことを特徴とするウエハブレーキング装置。
FI (2)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 Q
