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J-GLOBAL ID：200903056491734320
感光性片持ばりを有する複合原子間力及び走査型近接視野光学顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995241212
Publication number (International publication number)：1996114609
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【課題】 目標物の原子レベル検査のための複合近接視野及び原子間力顕微鏡アセンブリを提供する。【解決手段】 アセンブリは、その下部表面に鋭先端及び感光性領域を有する走査探針を含む。試料は、ガラス基板上に配置されかつ全内反射によってガラス基板上に生成されたエバネッセント波に露出される。感光性領域の近傍に頂部を有している超小型片持ばりを備えている光学的探針は、試料の近傍に配置される。感光性領域は、探針先端によりもたらされたエバネッセント場の局所破壊により光学的探針の頂部でFTRによって生成された光を収集する。片持ばり変位機構が含まれており、通常の原子間力顕微鏡として第2のモードで動作される。
Claim (excerpt)：
上部表面及び下部表面を有する超小型片持部と、前記片持部の前記下部表面の鋭先端と、その上に衝突するあらゆる光子を電流に変換する感光性材料を含んでいる前記片持部の少なくとも部分と、前記感光性材料に電気的に結合されており、前記電流を受け取りかつ処理する信号処理回路素子とを備えていることを特徴とする近接視野光学顕微鏡アセンブリ。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 11/00
, H01L 31/10
