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J-GLOBAL ID：200903056500276313

NF▲3▼の処理方法

Inventor： 毛利 勇 ,  藤井 正
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 坂本 栄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993325001
Publication number (International publication number)：1995171339
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ドライエッチングガスやクリーニングガスとして使用されるNF3 を含有する排ガスを処理する方法を提供する。【構成】 NF3 を含有する排ガスの総流量にF2 、フッ化塩素、フッ化臭素のガスの内少なくとも1種以上を0.05〜10vol%の範囲で添加し、シリコン、窒化珪素、タングステン、タンタル、チタンを主成分とする排ガス処理薬剤と25〜300°Cの温度範囲で反応させる。

Claim (excerpt)：

NF3 を含む排ガスの総流量にF2 、フッ化塩素、フッ化臭素のガスの内少なくとも1種以上を0.05〜10vol%の範囲で添加し、シリコン、窒化珪素、タングステン、タンタル、チタンを主成分とする排ガス処理薬剤と25〜300°Cの温度範囲で反応させ、得られるフッ化物ガスを捕集することを特徴とするNF3 の処理方法。

IPC (5)：

B01D 53/54 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  B01J 20/02 ,  C01B 21/08

FI (3)：

B01D 53/34 128 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 134 C