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J-GLOBAL ID：200903056500952599
ウエハ保管庫
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991221113
Publication number (International publication number)：1993041446
Application date： Aug. 06, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウエハの酸化を確実に防止することができるウエハ保管庫12を提供する。【構成】 ウエハの酸化の原因となる空気中の酸素と水分をウエハ保管庫12から除去する為に、ウエハ保管庫12内に窒素ガスボンベ16から窒素(不活性ガス)を供給し、ウエハ保管庫12内の空気を窒素ガスに置き換える。これにより、ウエハ保管庫12内は窒素ガス雰囲気となるので、ウエハ保管中に於けるウエハの酸化を防止することができる。
Claim (excerpt)：
クリーンルーム内に設置されたウエハ保管庫に於いて、前記ウエハ保管庫に不活性ガスを供給する不活性ガス供給装置を設けたことを特徴とするウエハ保管庫。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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