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J-GLOBAL ID：200903056515744003

ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法

Inventor： 竹村 康男 ,  成松 治 ,  小松 和義 ,  武内 洋子
Applicant, Patent owner： 三井東圧化学株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992330218
Publication number (International publication number)：1994177097
Application date： Dec. 10, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【構成】 光重合開始剤としてアクリル化ベンゾフェノン化合物を用いた紫外線硬化型粘着剤を、EVAとPPの2層からなる厚さ110μmのフィルムのコロナ処理したEVA面にロールコーターにて塗布し、90°Cで乾燥して塗布厚み30μmの紫外線硬化型粘着剤を有するウエハ裏面研削用テープを得る。【効果】 本ウエハ裏面研削方法によれば大口径ウエハを薄く研削した場合でも、ウエハの破損を防ぎ、かつ、ウエハ表面を汚染しない。

Claim (excerpt)：

一層または二層以上の光透過性のフィルムからなり、少なくともその内の一層がショアーD型硬度が40以下である基材フィルムに光重合性炭素-炭素二重結合を有する光重合開始剤を用いた光硬化型粘着剤を塗布してなることを特徴とするウエハ裏面研削用テープ。

IPC (4)：

H01L 21/304 331 ,  H01L 21/304 321 ,  B24B 37/04 ,  C09J 7/02 JLE