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J-GLOBAL ID：200903056528642773

鏡面ウエハ運搬用収納容器

Inventor： 柏 幹雄 ,  大西 正哉
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992133676
Publication number (International publication number)：1993326679
Application date： May. 26, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】化合物半導体鏡面ウエハの鏡面状態の劣化低減を可能とする。【構成】外気との間を遮断した密閉構造よりなる鏡面ウエハ収納空間を有し、かつウエハ収納状態では外部からの光を遮断する鏡面ウエハ運搬用収納容器1が、ウエハ収納空間内の雰囲気ガスを不活性ガスに置換する機能を持っていることを特徴とする。【効果】鏡面ウエハ収納空間内の雰囲気ガスの清浄度が長期間にわたって維持されるようになる。

Claim (excerpt)：

外気との間を遮断した密閉構造よりなる鏡面ウエハ収納空間を有し、かつウエハ収納状態では外部からの光を遮断する鏡面ウエハ運搬用収納容器において、前記収納容器が、前記ウエハ収納空間内の雰囲気ガスを不活性ガスに置換する機能を持っていることを特徴とする鏡面ウエハ運搬用収納容器。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/38