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J-GLOBAL ID：200903056554228675

ダイヤモンド薄膜とその作成方法およびこのダイヤモンド薄膜を備えたサーマルヘッド

Inventor： 馬場 和夫
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 小野寺 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992010795
Publication number (International publication number)：1993194092
Application date： Jan. 24, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 表面性の良好なダイヤモンド薄膜とその作成方法およびこのダイヤモンド薄膜を備えたサーマルヘッドを提供する。【構成】 アルキルクロロシランの有機溶媒溶液に基板を浸漬し(工程1)、乾燥工程(1)とアニール工程(3)を経てCVD法によりダイヤモンド薄膜を成膜する(4)。【効果】 ダイヤモンド薄膜の積層に先立ってアルキルクロロシランの有機溶液と基板表面の酵素とを反応させこの基板表面にアルキル基を結合させることで、このアルキル基とCVD法の原料である炭化水素化合物との親和力が増大し、ダイヤモンド結晶核発生密度が増加する。

Claim (excerpt)：

アルキルクロロシランで処理してアルキル基で表面を覆った基板に、炭化水素を原料とした成膜法で形成したことを特徴とするダイヤモンド薄膜。

IPC (5)：

C30B 29/04 ,  B05D 7/24 302 ,  B41J 2/335 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26

FI (2)：

B41J 3/20 111 D ,  B41J 3/20 111 F