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J-GLOBAL ID：200903056583237136

静電アクチュエータ

Inventor： 奥野 敦
Applicant, Patent owner： 神鋼電機株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994208612
Publication number (International publication number)：1996080064
Application date： Sep. 01, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 静電アクチュエータ駆動時において、移動子の速度リップルを小さくすること。【構成】 この発明による静電アクチュエータは、所定のピッチで配列した複数の銅電極101、101、101・・を有する固定子電極板100と、この固定子電極板100に対向する位置に設けられ、所定のピッチで配列した複数の銅電極を有する移動子電極板とから構成されている。そして、固定子電極板100の銅電極101、101、101・・・は、所定角度でスキュ-されている。

Claim (excerpt)：

所定のピッチで配列された複数の櫛型電極を有する固定子と、前記固定子に対向する面に、前記固定子の複数の櫛型電極と同一のピッチで配列された複数の櫛型電極を有する移動子とを備え、前記固定子の複数の櫛型電極と、前記移動子の複数の櫛型電極にそれぞれ位相差を持つ電圧を印加し、前記固定子の複数の櫛形電極と、前記移動子の複数の櫛形電極との間に作用する静電吸引力によって、前記移動子を移動させるようにした静電アクチュエータにおいて、前記固定子の複数の櫛型電極または前記移動子の複数の櫛型電極を、所定角度でスキュ-させたことを特徴とする静電アクチュエータ。