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J-GLOBAL ID：200903056588298508

投射光学装置

Inventor： 小山 元夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995152708
Publication number (International publication number)：1996327966
Application date： May. 26, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 投射光学系のレンズ面で反射されスクリーンに達する有害光を抑えて、スクリーン上においてコントラストの優れた像を得ることのできる投射光学装置を提供すること。【構成】 投射光学系は、ライトバルブ側から順に、第1レンズ群と、該第1レンズ群の光軸に関して一方の側に配置された開口絞りと、第2レンズ群とを備え、照明光供給手段は、第1レンズ群と第2レンズ群との間の光路中において第1レンズ群の光軸に関して他方の側の領域からの光を、第1レンズ群を介してライトバルブへ照射し、ライトバルブは前記光軸に関して他方の側に向かって偏心して配置され、照明光は、ライトバルブの偏心に応じて前記光軸に対して傾いて第1レンズ群に入射する。

Claim (excerpt)：

照明光を供給するための照明光供給手段と、該照明光供給手段からの照明光を光変調するための反射型散乱タイプのライトバルブと、該ライトバルブで光変調された光をスクリーン上に投影するための投射光学系とを備えた投射光学装置において、前記投射光学系は、前記ライトバルブ側から順に、第1レンズ群と、該第1レンズ群の光軸に関して一方の側に配置された開口絞りと、第2レンズ群とを備え、前記照明光供給手段は、前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との間の光路中において前記光軸に関して他方の側の領域からの光を、前記第1レンズ群を介して前記ライトバルブへ照射し、前記ライトバルブは、前記光軸に関して他方の側に向かって偏心して配置され、前記照明光は、前記ライトバルブの偏心に応じて前記光軸に対して傾いて前記第1レンズ群に入射することを特徴とする投射光学装置。

IPC (3)：

G02F 1/13 505 ,  G02B 27/18 ,  G03B 21/00

FI (3)：

G02F 1/13 505 ,  G02B 27/18 Z ,  G03B 21/00 Z