Pat

J-GLOBAL ID：200903056591993055

プラズマトーチ

Inventor： 近藤 次郎 ,  久保 紘
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 大島 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992142095
Publication number (International publication number)：1993315093
Application date： May. 06, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 酸化性雰囲気下で使用し得る、耐酸化性に富むプラズマトーチを提供する。【構成】 プラズマ発生装置に於て使用されるプラズマトーチの金属部分の表面に、貴金属の保護膜を形成する。保護膜として使用する貴金属としては、耐酸化性の良好なものから選択すれば良いが、プラズマトーチが銅で製作される場合が多く、かつ、銅に施された保護膜のパラジウムメッキは高温でも密着性が良好なことから、特にパラジウムメッキを選択することが望ましい。【効果】 本発明のプラズマトーチは、高温に於ても優れた耐酸化性を示すので、プラズマ装置の安定した操業を可能とする。

Claim (excerpt)：

プラズマ発生装置に於て使用されるプラズマトーチであって、当該プラズマトーチの金属部分の表面に、貴金属の保護膜を形成したことを特徴とするプラズマトーチ。