Pat

J-GLOBAL ID：200903056600867254

ワーク分離装置

Inventor： 藤岡 輝彦
Applicant, Patent owner： 株式会社テンリュウテクニックス
Agent (1)： 筒井 大和 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991145888
Publication number (International publication number)：1993251558
Application date： Jun. 18, 1991
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ワーク分離装置において、簡素な構造により工程の削減とワークの破損防止とを図る。【構成】 分割されてフィルムシート1に貼付されている半導体ウエハ2の各半導体ペレット3を該フィルムシート1から夫々分離させるワーク分離装置であって、外周側が固定された前記フィルムシート1を吸引する吸引手段5と、この吸引手段5による吸引によって前記フィルムシート1が吸着される吸着面6とを備え、前記吸着面6が吸引溝6Aによって凹凸状に形成されている。

Claim (excerpt)：

分割されてシートに貼付されているワークの各分割片を該シートから夫々分離させるワーク分離装置であって、前記シートを吸引する吸引手段と、この吸引手段による吸引によって前記シートが吸着される吸着面とを備え、前記吸着面が凹凸状に形成されていることを特徴とするワーク分離装置。