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J-GLOBAL ID：200903056622062802
微小ティップ、プローブユニット、及びこれらの製造方法、及びこれらを用いた走査型トンネル顕微鏡並びに情報処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992324605
Publication number (International publication number)：1994084455
Application date： Nov. 11, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 トンネル電流検出装置、微小力検出装置及び走査型トンネル顕微鏡等に用いられる微小ティップの製造方法を提供する。【構成】 単結晶シリコンから成る第一基板1に結晶軸異方性エッチングにより凹部3を形成した後、剥離層4,貴金属又は貴金属合金の微小ティップ材料5を成膜し、この微小ティップ材料5に第二基板6を接合し、剥離層4で剥離を行い第二基板6上に微小ティップを形成する。【効果】 凹部を形成した第一基板は微小ティップの雌型として繰り返し使用でき、生産性が向上し製造コストが低減される。
Claim (excerpt)：
トンネル電流又は微小力検出用微小ティップの製造方法であって、(a)第一基板の表面に凹部を形成する工程(b)前記凹部を含む第一基板上に剥離層を形成する工程(c)前記凹部を含む剥離層上に微小ティップ材料を形成する工程(d)前記凹部を含む剥離層上の微小ティップ材料を第二基板に接合する工程(e)前記剥離層と第一基板、或いは前記剥離層と微小ティップ材料の界面で剥離を行い第二基板上に微小ティップ材料を転写する工程少なくとも上記(a)〜(e)の工程を有することを特徴とする微小ティップの製造方法。
IPC (5)：
H01J 9/02
, G11B 9/00
, H01J 37/28
, G01B 7/34
, G01B 21/30
Cited by examiner (7)
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