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J-GLOBAL ID：200903056635185652
固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998082366
Publication number (International publication number)：1999281813
Application date： Mar. 30, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 解像度の良好な固体撮像素子用のRGBからなるカラーフィルタの製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 赤、緑、青の3色からなる固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法である。赤色フィルタおよび緑色フィルタの形成位置にイエローフィルタ層7を形成する工程と、緑色フィルタおよび青色フィルタの形成位置にシアンフィルタ層8を形成する工程と、赤色フィルタおよび青色フィルタの形成位置にマゼンタフィルタ層9を形成する工程とを備えている。イエローフィルタ層7とマゼンタフィルタ層9との積層構造によって赤色フィルタ10を形成し、イエローフィルタ層7とシアンフィルタ層8との積層構造によって緑色フィルタ11を形成し、シアンフィルタ層8とマゼンタフィルタ層9との積層構造によって青色フィルタ12を形成する。
Claim (excerpt)：
赤、緑、青の3色からなる固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法であって、赤色フィルタおよび緑色フィルタの形成位置にイエローフィルタ層を形成する工程と、緑色フィルタおよび青色フィルタの形成位置にシアンフィルタ層を形成する工程と、赤色フィルタおよび青色フィルタの形成位置にマゼンタフィルタ層を形成する工程とを備えてなり、前記イエローフィルタ層とマゼンタフィルタ層との積層構造によって赤色フィルタを形成し、前記イエローフィルタ層とシアンフィルタ層との積層構造によって緑色フィルタを形成し、前記シアンフィルタ層とマゼンタフィルタ層との積層構造によって青色フィルタを形成することを特徴とする固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法。
IPC (3)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 9/07
G02B 5/20 101
, H04N 9/07 D
, H01L 27/14 D
