露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：高橋清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996231490
Publication number (International publication number)：1998063012
Application date： Aug. 13, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】アライメント不能による稼働率低下のない露光装置を提供する。【解決手段】ベルトコンベア7により搬送されるワークKをプラテン1上で位置決め装置5により予め位置決めし、その後フィルムマスクFとワークK間の位置決めを行う。

Claim (excerpt)：

搬送されてきたワークを所定の位置に位置合わせするためのプリアライメント手段と、該所定の位置に位置合わせされたワークとフィルムマスクとを相対的に移動させて、ワークとフィルムマスク間の位置合わせを行うための手段と、を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

G03F 9/00 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (3)：

G03F 9/00 H , H05K 3/00 H , H01L 21/30 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭62-212659
特開昭62-294247
特開平4-056864

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