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J-GLOBAL ID：200903056679895339

感放射線性組成物

Inventor： 小林 英一 ,  大田 利幸 ,  村田 誠 ,  辻 昭
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992280047
Publication number (International publication number)：1994130667
Application date： Oct. 19, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【構成】 (A)下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子、アルキル基、アラルキル基またはアリール基を示し、R3およびR4は、同一もしくは異なり、水素原子、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基またはアルコキシカルボニル基を示し、Xは酸素原子もしくは硫黄原子であり、nは0または1を示す、で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【効果】 本発明の感放射線性組成物は、エキシマレーザーなどの遠紫外線、シンクロトロン放射線などのX線、電子線などの荷電放射線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示し、R2は水素原子、アルキル基、アラルキル基またはアリール基を示し、R3およびR4は、同一もしくは異なり、水素原子、置換メチル基、置換エチル基、シリル基、ゲルミル基またはアルコキシカルボニル基を示し、Xは酸素原子もしくは硫黄原子であり、nは0または1を示す、で表わされる繰返し単位を有する重合体および(B)感放射線酸形成剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027