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J-GLOBAL ID：200903056694094970

ワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法及び装置

Inventor： 永塚 真史 ,  兼田 雄司
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996145655
Publication number (International publication number)：1997323320
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】溝付ローラを傷付けることなく実機と略同じ条件で溝形状を測定することにより、正確な溝の磨耗量を得る。【解決手段】実機のワイヤの直径と等しい測定用ワイヤ27を溝付ローラ14の溝15に巻き掛ける。次に、スプリング31によって測定用ワイヤ27の張力を設定したのち、測定用ワイヤ27が巻き掛けられた溝をカメラ20で撮像し、カメラ20からの映像信号を画像処理する。次いで、画像処理して得られた溝付ローラ14の溝15と測定用ワイヤ27との輪郭データに基づいて溝付ローラ14の溝形状を測定する。スプリング31による測定用ワイヤ27の張力は、溝付ローラ14の溝15に巻き掛けられる実機のワイヤの張力と同一に設定する。

Claim (excerpt)：

一方のワイヤリールから繰り出されたワイヤを複数台の溝付ローラの溝に巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当てることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法に於いて、前記ワイヤの直径と等しい測定用ワイヤを前記溝付ローラの溝に所定の張力で巻き掛けたのち、該測定用ワイヤが巻き掛けられた溝を撮像手段によって撮像し、該撮像手段からの映像信号を画像処理し、該画像処理して得られた溝付ローラの溝と前記測定用ワイヤとの輪郭データに基づいて溝付ローラの溝形状を測定することを特徴とするワイヤソー用溝付ローラの溝形状測定方法。

IPC (4)：

B28D 7/00 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  G01B 11/24

FI (4)：

B28D 7/00 ,  B24B 27/06 G ,  B28D 5/04 C ,  G01B 11/24 A