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J-GLOBAL ID：200903056744144575

加速度センサ素子の感度較正方法

Inventor： 高橋 宏幸 ,  柴田 和義 ,  安藤 秀樹
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社 ,  エヌジーケイ・オプトセラミックス株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000069885
Publication number (International publication number)：2000338129
Application date： Mar. 14, 2000
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 測定対象以外の軸の感度を抑制することが可能な加速度センサ素子の感度較正方法を提供する。【解決手段】 1対の圧電素子14x,14x’からなる加速度検出素子により加速度を検出する加速度センサ素子の感度較正方法である。加速度センサ素子に振動を加えた場合において、電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子14xに対し、既存の分極とは逆極性の電圧を印加することにより、1対の圧電素子14x,14x’から出力される電気的出力の絶対値を近づける。

Claim (excerpt)：

1対の圧電素子からなる、少なくとも1の加速度検出素子により、外部から作用する加速度を検出し得る加速度センサ素子の感度を較正する方法であって、前記加速度センサ素子に振動を加えた場合において、前記1対の圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子に対し、既存の分極とは逆極性の電圧を印加することにより、前記1対の圧電素子から出力される電気的出力の絶対値を近づけることを特徴とする加速度センサ素子の感度較正方法。

IPC (4)：

G01P 21/00 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/09 ,  H01L 41/08

FI (4)：

G01P 21/00 ,  G01P 15/09 ,  G01P 15/00 K ,  H01L 41/08 Z