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J-GLOBAL ID:200903056764506961

気体の流量計測装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992243446
Publication number (International publication number):1994094494
Application date: Sep. 11, 1992
Publication date: Apr. 05, 1994
Summary:
【要約】【目的】液化しやすくまた性状不安定な気体であってもその流量の測定を支障なくかつ高信頼度で測定すること。【構成】測定対象とされる気体を流す主通路6に浄化用気体導入管13,14を2方向弁11,12を介して接続し、測定終了後に2方向弁11,12を切り替えて主通路6に浄化用気体を勢いよく流して主通路6に残存する気体を排出させる。また、加熱部19によってその内部を気体の液化を防止できる温度に加熱する。
Claim (excerpt):
常温で液化しやすい気体又は常温で性状が変化し易い気体が通過する細管状の気体導入管が設けられ、当該気体導入管には、その一部分にこの気体導入管内を加熱するヒータと、当該ヒータ両側にこの気体導入管の温度を検出する温度センサとで構成された流量計測部が設けられ、これら両温度センサのそれぞれの検出温度差に基づいて前記気体の流量を計測する気体の流量計測装置において、前記気体が流通する系内から前記気体導入管に前記気体を導入して当該系内に戻す第1経路と、前記気体が流通しない系外から前記気体導入管にこの気体導入管内を浄化する管内浄化用気体を導入して当該系外に排出する第2経路と、当該第1経路または当該第2経路を選択的に形成する経路形成手段と、少なくとも前記気体導入管を含む第1経路の流量計測部の上流側に気体導入管を加熱する加熱部とを有することを特徴とする気体の流量計測装置。

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