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J-GLOBAL ID：200903056778392420

微小凹面の深さ測定方法

Inventor： 谷脇 尚人 ,  野村 省三 ,  岡副 篤
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 石田 長七 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991120459
Publication number (International publication number)：1994003119
Application date： May. 24, 1991
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】形状特徴により発生するノイズ光を避けて、測定対象物までの距離を正確に測定することができる微小凹面の深さ測定方法を提供するにある。【構成】測定器は投光軸Xと受光軸Yのなす角度θを一定に保ったまま、光学系全体を一定方向にある角度θaだけ傾ける。測定対象物6の凹面6a内は反射パターンZが傾いて測定器の受光系に対しては正反射の傾きとなる面が存在しない。測定器は受光素子に測定スポットの像だけを受光し、被対象物6の表面までの距離を正確に測定する。

Claim (excerpt)：

表面が鏡面である粘性の高い液体を塗布した際にその塗布量を検出するために微小な凹面である液面の深さを測定する測定方法で、対象の凹面部分にスポット光を当てて三角測量の原理を用いて測定対象物までの距離を測定する測定器を用いて測定を行う際、測定器の投光軸と受光軸が成す角度により決まる一定の角度を有する正反射面が、対象凹面の測定点以外でかつ受光光学系の視野内に存在する時、測定器の投光軸と受光軸の成す角度を一定に保ったまま、測定器の光学系が対象凹面と成す角度に所定の角度を与え、上記対象凹面内に存在する正反射面が受光光学系の視野内に存在しないようにして、対象凹面の深さ測定を行うことを特徴とする微小凹面の深さ測定方法。