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J-GLOBAL ID：200903056781426394

透明導電膜付きカラーフィルター基板の製造方法

Inventor： 斉藤 生 ,  河村 有紀 ,  大崎 壽 ,  林 泰夫
Applicant, Patent owner： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993295308
Publication number (International publication number)：1995146480
Application date： Nov. 25, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【構成】樹脂保護層3と透明導電膜4の間に不純物をドープさせたSiターゲットを用いて、N2 および/またはNH3 を含むガス雰囲気でDCスパッタリング法によりSiNX 膜5を設けるカラーフィルター基板の製造方法。【効果】透明導電膜の付着力が向上し、透明導電膜のパターニング性が向上し良好な透明電極パターンが形成できる。

Claim (excerpt)：

透明基体上に、カラーフィルター層、樹脂保護層、透明導電膜を順に形成してなるカラーフィルター基体の製造方法において、樹脂保護層と透明導電膜の間に不純物をドープさせたSiターゲットを用いて、N2 および/またはNH3 を含むガス雰囲気でDCスパッタリング法によりSiNX 膜を形成することを特徴とする透明導電膜付きカラーフィルター基板の製造方法。

IPC (3)：

G02F 1/1343 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505