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J-GLOBAL ID：200903056791794065

シリンダキャビネット

Inventor： 和田 義正 ,  内川 信 ,  土肥 正光
Applicant, Patent owner： 株式会社田中製作所
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992195678
Publication number (International publication number)：1994045212
Application date： Jul. 22, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 大幅な小型化が可能でしかも配管回路の構成の自由度が高いシリンダキャビネットを提供する。【構成】 複数の弁体を同一の筐体内に設けるとともに、各弁体を連結するガスの流路を筐体内に配設して全体を一体化する。また、これら一体化した配管回路のブロックを互いに連結して、目的の配管回路を自由に構成することを可能としている。

Claim (excerpt)：

ボンベ等の容器内に貯蔵されたガスを半導体製造装置に供給するシリンダーキャビネットであって、第1、第2、第3のポートと、第1、第2のポート間に形成された第1の流路と、該第1の流路と第3のポートを接続する第2の流路と、第1の流路中に直列に介装された第1、第2の弁体と、第2の流路中に直列に介装された第3の弁体と、前記第1、第2の弁体間の流路及び前記第2の流路に連通するガス導入ポートとを備え、前記第1、第2の流路と第1、第2、第3の弁体とを第1の筐体内に設けて一体化したことを特徴とするシリンダキャビネット。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-179113
  
• 特開平2-146400
  
• 特開平4-179113
  
• 特開平2-146400