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J-GLOBAL ID：200903056795362895

走査電子顕微鏡

Inventor： 保谷 隆司 ,  鈴木 直正 ,  佐藤 貢
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997254683
Publication number (International publication number)：1999096954
Application date： Sep. 19, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡において、電子線の加速電圧やWDが変化した場合に、検出効率が下がったり、試料像にムラが発生したりしていた。【解決手段】本発明では、試料から発生した二次電子を二次電子検出器に導くための電界を発生させる2枚以上の電極に印加する各々の電圧を、複数の組み合わせ状態に設定できるようにした。

Claim (excerpt)：

電子線を発生する電子源と、前記電子線を集束する集束レンズと、前記電子線を細く絞って試料上に照射させる対物レンズと、前記電子線を前記試料上で二次元的に走査する偏向器と、前記試料から前記電子線の照射により発生した二次電子を検出する検出器と、前記検出器から出力された信号により前記試料の試料像を表示させる手段を具備した走査電子顕微鏡において、前記二次電子を前記検出器に導く電界を発生させる少なくとも2枚以上の電極と、前記電極に印加する各々の電圧を別々に制御する手段を具備し、前記電極に印加する各々の電圧を複数の組み合わせ状態に設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/28

FI (3)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/28 B