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J-GLOBAL ID：200903056795484990
熱形光センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992323852
Publication number (International publication number)：1994174551
Application date： Dec. 03, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】受光部面積を大きくして光量を多くしても、熱時定数がそれほど大きくならない構造にして、高速応答性が損なわれる事がなく、高感度となる熱形光センサを提供することを目的とする。【構成】本発明の熱形光センサは、温度センサが形成してある宙に浮いた構造の薄膜領域と受光部とを分離して、温度センサ部に熱的に接して、かつ、キノコ状に金属などの熱伝導性の良い薄膜材料を延ばして、その傘状部分を受光部としている。
Claim (excerpt)：
宙に浮いた構造の薄膜領域に温度センサを形成した熱形光センサにおいて、該温度センサに熱的に接触し、傘状に空中に広がる高熱伝導性薄膜の拡大受光部を有することを特徴とする熱形光センサ。
IPC (2)：
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