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J-GLOBAL ID：200903056798028104
プラズマガスの使用方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994248843
Publication number (International publication number)：1996086755
Application date： Sep. 16, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 プラズマ形成のための不活性ガスの効率的な使用方法を提供する。【構成】 プラズマ形成後にトーチチャンバ1から排出される不活性ガスを再度トーチチャンバ1に循環させる。
Claim (excerpt)：
プラズマ形成後にトーチチャンバから排出される不活性ガスを再度前記トーチチャンバに循環させてプラズマ形成のために使用することを特徴とするプラズマガスの使用方法。
IPC (3)：
G01N 21/73
, H05H 1/26
, H05H 1/30
