Pat
J-GLOBAL ID：200903056836726651
走査型電子顕微鏡の2次電子検出器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡田 守弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995068202
Publication number (International publication number)：1996264149
Application date： Mar. 27, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、試料から発生した2次電子を検出する走査型電子顕微鏡の2次電子検出器に関し、対物レンズの軸の周りに筒状の加速管を設けて加速電圧を印加すると共に内壁に2次電子放出物質を形成し、試料から放出された2次電子がたとえ加速管の内壁に衝突しても2次電子を放出すると共に加速電圧によって2次電子を検出器に向かって加速し、試料から発生した2次電子が対物レンズの磁界による拘束を外れても効率的に検出可能にすることを目的とする。【構成】 電子ビームを細く絞って試料上に照射する対物レンズと、この対物レンズの軸を貫通する筒状であって、試料から離れるに従い電圧が高くなる加速管と、この加速管を通過した2次電子を検出する検出器とを備えるように構成する。
Claim (excerpt)：
電子ビームを細く絞って試料上に照射する対物レンズと、この対物レンズの軸を貫通する筒状であって、試料から離れるに従い電圧が高くなる加速管と、この加速管を通過した2次電子を検出する検出器とを備えた走査型電子顕微鏡の2次電子検出器。
IPC (2)：
FI (2)：
H01J 37/244
, H01J 37/28 Z
