Pat

J-GLOBAL ID：200903056891619970

オゾン濃度測定装置の校正方法及びその装置

Inventor： 内野 幸一
Applicant, Patent owner： 株式会社日本製鋼所
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991196808
Publication number (International publication number)：1993040088
Application date： Aug. 06, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明の目的は、オゾンの半減期等の不安定な性質の影響を受けずにオゾン濃度を正確に校正することができる方法とその装置を提供することにある。【構成】 本発明に係るオゾンのスペクトル吸収特性によって透過した光量をランバートベールの法則に基づきオゾンの濃度を測定するオゾン濃度測定装置の校正方法は、特定オゾン濃度における吸光度に相当する吸光度を有するものであって、合成石英ガラスを母材とした253.7nmの光を透過する校正用フィルタ2を標準ガスまたは標準溶液とみなして校正することを特徴とし、それに使用する装置は該校正用フィルタ2を光源1と試料セル3との間に設けることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

オゾンのスペクトル吸収特性によって透過した光量をランバートベールの法則に基づきオゾンの濃度を測定するオゾン濃度測定装置の校正方法において、特定オゾン濃度における吸光度に相当する吸光度を有するものであって、合成石英ガラスを母材とした253.7nmの光を透過する校正用フィルタを標準ガスまたは標準溶液とみなして校正することを特徴とするオゾン濃度測定装置の校正方法。

IPC (4)：

G01N 21/31 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/59 ,  G01N 31/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-218842
  
• 特開昭55-098335