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J-GLOBAL ID：200903056896894618

露光装置

Inventor： 藤井 武 ,  岡崎 洋二 ,  和田 光示
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002145076
Publication number (International publication number)：2003337425
Application date： May. 20, 2002
Publication date： Nov. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】各光源ユニットの積算使用時間または出力効率の経時劣化率の偏りによる光源ユニットの残寿命のばらつきをなくし、光源ユニットの交換、メンテナンス周期を延長することができ、その分のコストを削減することができる露光装置を提供する。【解決手段】各々の光源ユニットの積算使用時間または出力効率の経時劣化率を測定し、この測定結果に基づいて、切り替え手段により各光源ユニットと各露光ユニットとの間の接続を切り替える。これにより、各光源ユニットの積算使用時間または出力効率の経時劣化率を平均化することができ、光源ユニットの交換、メンテナンス周期を延長して、その分のコストを削減することができる。

Claim (excerpt)：

光ビームを出射する複数の光源ユニットと、前記光源ユニットから出射される光ビームを画像データに応じて変調する複数の露光ユニットとを備え、露光対象物のサイズに対応する一部または全部の前記光源ユニットおよび前記露光ユニットを使用して、前記露光対象物を直接露光する露光ヘッドを備える露光装置であって、各々の前記光源ユニットの積算使用時間または出力効率の経時劣化率を測定する手段と、各々の前記光源ユニットと各々の前記露光ユニットとの間の接続を任意に切り替え可能な切り替え手段とを備えることを特徴とする露光装置。

F-Term (4)：

2H097AA03 ,  2H097CA17 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10