Pat

J-GLOBAL ID：200903056925598349

浮遊粒子のレーザ計測装置

Inventor： 中尾 和浩 ,  永山 勉
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994302496
Publication number (International publication number)：1996159948
Application date： Dec. 06, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【構成】 イオン注入装置における注入室7内に単一波長のレーザ光を通過させ、浮遊する粒子に反射するレーザ光を水平方向に移動する集光レンズ23で集め、偏光板26で水平偏波と垂直偏波とに分離する。これらを光電子増倍管27・28で電気信号に変換して、記録計29にてこの信号とこのときのレーザ光の波長等に基づき散乱比法により粒子の数密度および粒径を算出する。数密度が所定値を超える場合、レーザ光の波長を掃引し、粒子が固有の波長のレーザ光を吸収して固有の蛍光を発したときのレーザ光の波長により粒子の種類を特定する。【効果】 注入室7内における浮遊粒子の分布状態を容易に把握するとともに、浮遊粒子の数密度が高い場合は、浮遊粒子の種類の判別により汚染源を即座に特定することができる。それゆえ、浮遊粒子を常時監視するとともに、汚染への対応を迅速に行なうことができ、イオン注入の歩留りの低下が改善できる。

Claim (excerpt)：

イオン注入装置の真空容器内にレーザ光を照射する可変波長のレーザ光源と、上記真空容器内に浮遊する粒子にて散乱したレーザ光を収束する集光レンズと、この集光レンズをレーザ光の光路に沿って平行に移動させる移動手段と、上記集光レンズにより収束された光を水平方向および垂直方向の偏波に分離する偏光手段と、この偏光手段により分離された両偏波の光強度の比に基づいて粒子の数密度および粒径を算出する算出手段と、この算出手段により算出された粒子の数密度が所定の値を超えると上記レーザ光源の波長を掃引する掃引手段と、波長掃引時に粒子から発されて上記集光レンズにより収束された蛍光を検知したときのレーザ光の波長に基づいて粒子の種類を判別する判別手段とを備えていることを特徴とする浮遊粒子のレーザ計測装置。

IPC (2)：

G01N 15/14 ,  H01J 37/317

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開平3-163332
  
• 真空チャンバ内の系内微粒子測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-318917   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 特開昭59-174742