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J-GLOBAL ID：200903056950224518

非機能化したポリ(アリーレンエーテル)誘電材料

Inventor： ウィリアム フラクリン バーゴイン,ジュニア ,  ロイド マーロン ロべソン ,  レイモンド ニコラス ブルティス
Applicant, Patent owner： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996184973
Publication number (International publication number)：1997202823
Application date： Jul. 15, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 集積回路のようなマイクロ電子デバイスに配置して低誘電率の材料として使用可能な非機能化ポリ(アリーレンエーテル)ポリマーの誘電材料を提供する。【解決手段】 本発明の誘電材料は、次の構造【化1】(式中のm=0〜1.0、n=1.0-mであり、Ar1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 はそれぞれ、明細書中に具体的に記載された二価のアリーレン基であって、但しジラジカルの9,9-ジフェニルフルオレン以外のAr1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 は異性の同等基でないものとする)の繰返し単位を含むポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを含む。

Claim (excerpt)：

マイクロ電子デバイス上に配置されており、次の構造【化1】(この式において、m=0〜1.0、n=1.0-mであり、Ar1 、Ar2 、Ar3 及びAr4 はそれぞれ二価のアリーレン基である)の繰返し単位を含むポリ(アリーレンエーテル)ポリマーを含む誘電材料。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平3-165596