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J-GLOBAL ID：200903056953832187
水晶振動子の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995345267
Publication number (International publication number)：1997162668
Application date： Dec. 06, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 従来の製造方法では、水晶片のブランク加工時の周波数の幅がバッチ間で広く変動してしまい、研磨代の狙い値が定め難かった。そのため、ロット間のベベル加工量が変動し耐衝撃性とCI値がバラツキ、歩留りが悪化するという問題があった。【解決手段】 水晶片のブランク加工工程とパイピング及び/またはバレル研磨工程との間に層別してグループを形成する工程、または該工程と追い込みエッチング工程とを設けたことを特徴とする製造方法。
Claim (excerpt)：
X軸またはZ ́軸方向に長さ、Y ́軸方向に厚み、Z ́軸またはX軸方向に幅を有する矩形ATまたはBTカット水晶振動子の水晶片のブランク加工工程と該加工工程に続くパイピング及び/またはバレル研磨工程と一律エッチング工程と層別工程と追い込みエッチング工程と層別工程と金属薄膜電極形成工程とマウント工程と周波数調整工程と封止工程からなる水晶振動子の製造方法において、水晶片のブランク加工工程とパイピング及び/またはバレル研磨工程との間に前記水晶片の周波数を複数組に層別してグループを形成する工程を設けたことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H03H 3/02 B
, H03H 9/19 A
