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J-GLOBAL ID：200903056994230167

テスト・オン・ウエファ・ステーションのEWSプローブカード及びテストカード間のユニバーサル多接触接続構造

Inventor： ジュセッペ・リブレッティ
Applicant, Patent owner： エッセヂエッセ-トムソン マイクロエレクトロニクスエッセ・エッレ・エッレ
Agent (1)： 森 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991174354
Publication number (International publication number)：1994021167
Application date： Jun. 19, 1991
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 EWSプローブカードとデバイスカードをケーブルを使用して接続する従来の接続構造は、時間を浪費し、かつケーブル数が莫大になるという欠点がある。本発明は前記両カードを迅速かつ容易に低コストで接続できるユニバーサル構造を提供する。【構成】 接続すべきEWSプローブカードの上面とテストカードの下面にそれぞれ雄コンタクトを形成し、両雄コンタクトをリセプタクル内にゆとりをもって設置されるユニバーサルコネクタのダブル雌コンタクトに接続することにより電気的に接続する。

Claim (excerpt)：

カード支持構造を有するテスト・オン・ウエファ・ステーションに設置されるEWSプローブカードとテストカードを接続するためのユニバーサル多接触接続デバイスにおいて、プローブカードの上面に永続的に設置されかつ前記プローブカードの底面から突出するそれぞれのプローブに個々に接続された平行ピンの形態の第1の複数の雄コンタクト、テストカードの底面に永続的に設置された平行ピンの形態の第2の複数の雄コンタクト、実質的に絶縁性である部材中に形成されたそれぞれのリセプタクル内にゆとりをもって形成される複数のダブル雌コンタクトが装着されたユニバーサルコネクタ及び、実質的に前記プローブカードを圧迫することなく、下側の雌コンタクトと前記プローブカードの雄コンタクト間のカップリング位置に前記電気絶縁性部材を支持する手段を含んで成り、前記複数のコンタクトが、鏡に映した関係のようにそれらのそれぞれのアセンブリ面上に配置され、前記プローブカードの雄コンタクトと前記テストカードのそれぞれの雄コンタクトを前記ユニバーサルコネクタの前記ダブル雌コンタクトを通して相互カップリングを行うことを可能にしたことを特徴とするデバイス。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-048439
  
• 特開昭60-001840