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J-GLOBAL ID:200903057009648850

偏斜・暗視野検鏡装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996023703
Publication number (International publication number):1997218357
Application date: Feb. 09, 1996
Publication date: Aug. 19, 1997
Summary:
【要約】【課題】本発明は、良好な偏斜・暗視野検鏡を実現できる装置を提供する。【解決手段】光源21からの照明光を絞り位置Aに配置されたリング照明絞り22を通して対物瞳位置Bにリング絞り像として結像し、このリング絞り像からなる照明光を対物レンズ25の有効NAの外側を通して、標本26に投光角の小さな暗視野照明を入射し、さらに、標本26面で散乱される光による観察像について対物レンズ25、リレーレンズ28を通して対物瞳位置C上の遮蔽部材29に送り、この遮蔽部材29の円形状開口部291によりリング絞り像のリング部分(明部)をカットする。
Claim (excerpt):
照明光学系の明るさ絞り位置に設けられリング状開口部を有するリング照明絞りと、このリング照明絞より形成されるリング絞り像の照明光が照射される標本からの観察像を取り込む対物レンズと、この対物レンズの瞳位置をリレーするリレー光学系と、このリレー光学系より形成される対物瞳位置に設けられ前記リング絞り像のリング部分をカットする遮蔽部材とを具備したことを特徴とする偏斜・暗視野検鏡装置。

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