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J-GLOBAL ID：200903057016433540

レーザシステム、露光装置およびエキシマレーザ装置

Inventor： 佐野 直人 ,  安福 祐次 ,  大内 千種
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992204284
Publication number (International publication number)：1994029591
Application date： Jul. 09, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 システムを簡素化して設置スペースの減少およびシステムのコストダウンを図る。【構成】 レーザ発振器の動作のため真空排気系が必要な複数台のレーザ装置2a〜2cを有するレーザシステムにおいて、一台の真空排気ユニット4を複数台のレーザ装置に共通に使用して各レーザ装置の排気を行なう。排気動作は、制御装置が各レーザ装置と通信して制御する。

Claim (excerpt)：

複数台のレーザ装置と、一台の真空排気ユニットと、前記複数のレーザ装置との間で信号を授受し前記一台の真空排気ユニットを前記複数の各レーザ装置に接続しその排気動作を行なわせる制御装置とを具備することを特徴とするレーザシステム。

IPC (6)：

H01S 3/036 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/104 ,  H01S 3/134

FI (3)：

H01S 3/03 J ,  H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L